アドバンテスト R6161 6桁半 直流標準電圧電流発生器
アドバンテスト R6161 直流電圧/電流発生器 6桁半 直流標準電圧電流発生器
10nV~1199.999V 1nA~119.9999mA オートレンジまたは固定レンジ
最大設定 1199999 100チャンネルのメモリ内蔵機能
直流電圧発生 7レンジ(10mV、100mV、1000mV、1V、10V、100V、1000V) 10nV~1200V
24時間 安定度 0.0007%+0.0030%(10mVレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0003%(100mVレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0002%(1000mVレンジ)
24時間 安定度 0.0005%+0.0003%(1Vレンジ)
24時間 安定度 0.0005%+0.0002%(10V、100V、1000Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0060%+0.0230%(10mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0045%+0.0025%(100mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0035%+0.0008%(1000mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0025%+0.0011%(1Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0025%+0.0007%(10V、100Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0030%+0.0007%(1000Vレンジ)
直線性誤差 0.0003%(10mV、100mV、1V、10Vレンジ)
0.0004%(1000mV、100Vレンジ)
0.0005%(1000Vレンジ)
最大負荷電流 120mA(1V、10V、100Vレンジ) 12mA(1000Vレンジ)
電圧リミッター 10V~1250V(10V分解能)
出力抵抗 10mV、100mV、1000mVレンジ:200Ω±0.5%
1V、10V、100V、1000Vレンジ:100mΩ以下
*10mV、100mV、1000mVレンジはDivider ON、Divider出力端子から出力
*1000mVレンジと1Vレンジの短時間安定度比較では1000mVレンジのほうがゼロ安定度が良い。
直流電流発生 3レンジ(1mA、10mA、100mA) 1nA~120mA
24時間 安定度 0.0012%+0.0002%(1mAレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0002%(10mA、100mAレンジ)
90日間絶対確度 0.0060%+0.0009%(1mAレンジ)
90日間絶対確度 0.0045%+0.0009%(10mA、100mAレンジ)
直線性誤差 0.0003%(1mA、10mAレンジ)
0.0005%(100mAレンジ)
出力追従電圧 120V(全レンジ)
電流リミッター 1mA~125mA(1mA分解能)
出力抵抗 1mA、10mAレンジ:5GΩ以上
100mAレンジ:1GΩ以上
*24時間安定度、直線性誤差は23℃±1℃、90日間絶対確度は23℃±5℃で規定
短時間安定度 10Vレンジ ±(0.00005%+0.005mV)
ただし、10分間、±0.5℃、電気計測超精密研究所で校正時のみ
絶対直線性誤差、電源電圧変動誤差(電源電圧±0.2V以上)は含みません。
予熱時間 60分(規定の確度に入るまでの時間)
セットリングタイム(最終値の±0.001%までの到達時間) 1秒(1000Vレンジのみ10秒)
外形寸法 424(幅)×132(高)×500(奥行)mm 重量 約17.5kg
2003.11.25 校正・調整済(下記の各(参考)データは校正・調整前です。)
(使用標準器 HP3458A(S1)、HP3458A(S2)、フルーク742A、フルーク720A)
(参考)直線性試験データ(使用標準器HP3458A(S1)、HP3458A(S2)、フルーク742A、フルーク720A)
直線性試験校正精度 ±(読みのppm+レンジのppm)
0.1+0.1(10Vレンジ) 0.3+0.2(1V、1000mVレンジ)
0.3+0.1(100Vレンジ) 0.5+1.0(100mVレンジ)
0.7+0.1(100~ 500V:1000Vレンジ) 1.2+0.1( 500~ 700V:1000Vレンジ)
1.5+0.1(700~ 800V:1000Vレンジ) 1.8+0.1( 800~ 900V:1000Vレンジ)
2.0+0.1(900~1000V:1000Vレンジ) 2.2+0.1(1000~1100V:1000Vレンジ)
0.7+0.2(1mAレンジ) 0.8+0.2(10mAレンジ) 1.0+1.0(100mAレンジ)
*直線性試験・校正:計算後の校正値はゼロ誤差、レンジの100%の時の読みの誤差を除いた計算値
R6161の設定値 計算後の校正値 R6161の設定値 計算後の校正値
10Vレンジ 10Vレンジ
00.00000 00.000000 00.00000 00.000000
01.00000 00.999998 00.10000 00.100003
02.00000 01.999999 00.20000 00.200000
03.00000 03.000002 00.30000 00.300005
04.00000 04.000002 00.40000 00.400002
05.00000 05.000000 00.50000 00.500006
06.00000 05.999999 00.60000 00.600004
07.00000 06.999999 00.70000 00.700003
08.00000 07.999999 00.80000 00.800003
09.00000 08.999999 00.90000 00.900008
10.00000 10.000000 01.00000 00.999998
11.00000 11.000004 01.10000 01.100000
11.99900 11.999003 10.00000 10.000000
R6161の設定値 計算後の校正値 R6161の設定値 計算後の校正値
100mVレンジ 1000mVレンジ
000.0000 000.0000 0000.000 0000.0000
010.0000 010.0000 0100.000 0100.0002
020.0000 020.0000 0200.000 0199.9999
030.0000 029.9999 0300.000 0299.9998
040.0000 040.0000 0400.000 0399.9996
050.0000 050.0000 0500.000 0499.9999
060.0000 060.0000 0600.000 0599.9997
070.0000 069.9999 0700.000 0699.9996
080.0000 079.9999 0800.000 0799.9992
090.0000 089.9999 0900.000 0899.9997
100.0000 100.0000 1000.000 1000.0000
110.0000 109.9999 1100.000 1100.0003
119.9900 119.9899 1199.900 1199.9006
R6161の設定値 計算後の校正値 R6161の設定値 計算後の校正値
1Vレンジ 100Vレンジ
0.000000 0.0000000 000.0000 000.00000
0.100000 0.0999997 010.0000 009.99999
0.200000 0.2000001 020.0000 020.00000
0.300000 0.2999998 030.0000 030.00004
0.400000 0.4000000 040.0000 040.00002
0.500000 0.4999997 050.0000 050.00002
0.600000 0.5999997 060.0000 060.00000
0.700000 0.6999997 070.0000 070.00000
0.800000 0.8000001 080.0000 080.00004
0.900000 0.9000001 090.0000 090.00001
1.000000 1.0000000 100.0000 100.00000
1.100000 1.0999996 110.0000 110.00002
1.199900 1.1998996 119.9900 119.98995
R6161の設定値 計算後の校正値 R6161の設定値 計算後の校正値
1000Vレンジ 1mAレンジ
0000.000 0000.000 0.000000 0.000000
0100.000 0100.000 0.100000 0.100000
0200.000 0200.000 0.200000 0.200000
0300.000 0300.000 0.300000 0.300001
0400.000 0400.000 0.400000 0.400001
0500.000 0500.000 0.500000 0.500000
0600.000 0600.000 0.600000 0.600000
0700.000 0700.000 0.700000 0.700000
0800.000 0800.000 0.800000 0.800000
0900.000 0900.000 0.900000 0.900000
1000.000 1000.000 1.000000 1.000000
1100.000 1100.000 1.100000 1.100001
1199.999 1200.00 1.199900 1.199901
R6161の設定値 計算後の校正値 R6161の設定値 計算後の校正値
10mAレンジ 100mAレンジ
00.00000 00.00000 000.0000 000.0000
01.00000 01.00000 010.0000 010.0000
02.00000 02.00000 020.0000 019.9999
03.00000 03.00000 030.0000 029.9999
04.00000 04.00000 040.0000 039.9999
05.00000 05.00000 050.0000 049.9999
06.00000 05.99999 060.0000 059.9999
07.00000 07.00000 070.0000 069.9999
08.00000 08.00000 080.0000 079.9999
09.00000 09.00000 090.0000 090.0000
10.00000 10.00000 100.0000 100.0000
11.00000 11.00001 110.0000 110.0000
11.99900 11.99902 119.9900 119.9901
(参考)短時間安定度試験データ(使用標準器HP3458A(S1)、HP34420A、フルーク742A)
短時間安定度試験相対校正精度 ±(読みのppm) 10分間 *すべて相対値
10(1mV) 2(10mV) 0.5(100mV) (HP34420A)
0.4(1V) 0.2(10V) 0.6(100V、500V) (HP3458A(S1)、フルーク720A)
1(0.1mA) 0.8(1mA) 0.9(10mA) 0.9(100mA)(HP3458A、フルーク742A)
*試験条件 ±0.5℃ 1分間以上出力後、約1分間測定 NPLC100 すべて固定レンジを使用
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
10.00000m 10mV 01.00000m 1mV
最小値 10.000490 最小値 01.000416
平均値 10.000495 平均値 01.000419
最大値 10.000498 最大値 01.000424
測定回数 18 測定回数 13
標準偏差 00.000002 標準偏差 00.000002
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
100.0000m 100mV 010.0000m 10mV
最小値 100.00087 最小値 010.00011
平均値 100.00089 平均値 010.00012
最大値 100.00091 最大値 010.00013
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 000.00001 標準偏差 000.00000
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
1000.000m 1000mV 0100.000m 100mV
最小値 1000.00974 最小値 0099.99898
平均値 1000.00982 平均値 0099.99904
最大値 1000.00988 最大値 0099.99914
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 0000.00004 標準偏差 0000.00004
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
1.000000 1V 0.100000 0.1V
最小値 1.00001229 最小値 0.10000024
平均値 1.00001248 平均値 0.10000050
最大値 1.00001266 最大値 0.10000085
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 0.00000013 標準偏差 0.00000016
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
10.00000 10V 01.00000 1V
最小値 10.0000716 最小値 01.0000046
平均値 10.0000726 平均値 01.0000051
最大値 10.0000734 最大値 01.0000056
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 00.0000005 標準偏差 00.0000003
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
100.0000 100V 010.0000 10V
最小値 100.000781 最小値 010.000096
平均値 100.000792 平均値 010.000099
最大値 100.000797 最大値 010.000104
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 000.000004 標準偏差 000.000002
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
0500.000 500V 0100.000 100V
最小値 0500.00495 最小値 0100.00091
平均値 0500.00500 平均値 0100.00097
最大値 0500.00511 最大値 0100.00101
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 0000.00005 標準偏差 0000.00002
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
100.0000m 100mA 010.0000m 10mA
最小値 100.00114 最小値 010.00017
平均値 100.00119 平均値 010.00018
最大値 100.00123 最大値 010.00019
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 000.00003 標準偏差 000.00000
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
10.00000m 10mA 01.00000m 1mA
最小値 10.000096 最小値 00.999997
平均値 10.000100 平均値 00.999998
最大値 10.000106 最大値 01.000000
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 00.000003 標準偏差 00.000001
R6161設定値 測定値 R6161設定値 測定値
1.000000m 1mA 0.100000m 0.1mA
最小値 1.0000147 最小値 0.1000016
平均値 1.0000149 平均値 0.1000018
最大値 1.0000151 最大値 0.1000020
測定回数 18 測定回数 18
標準偏差 0.0000001 標準偏差 0.0000001
(参考)短時間超高精度安定度試験データ(使用標準器HP3458A(S1))
短時間安定度試験相対校正精度 ±(読みのppm) 10分間 ±0.5℃ *すべて相対値
0.2(10V)
設定値 10Vレンジ 10.00000V 出力ON、1分後の10分間連続出力試験データ
*上記の電圧測定ではこちらでの最高相対校正精度に近い、非常に高い精度で測定しています。
上記のデータを見ますと発生電圧値に対して-0.2ppm程度の変動です。
経過時間とともに+または-へ0.1ppm程度(1分~数分)の変動があるようです |